微機械慣性傳感器檢測平台的設計與應用(doc 8)

摘要：一種用於微機械慣性傳感器研製與開發的檢測平台，介紹電容式慣性傳感器微電容信號的檢測原理、該係統的總體結構、各個組成部分的工作原理及自動檢測方法。
關鍵詞：微機電係統（MEMS） 微機械陀螺（MMG） 檢測
隨著科學技術的發展，許多新的科學領域相繼湧現，其中微米/納米技術就是諸多領域中引人注目的一項前沿技術。20世紀90年代以來，繼微米/納米技術成功應用於大規模集成電路製作後，以集成電路工藝和微機械加工工藝為基礎的各種微傳感器和微機電係統（MEMS）脫穎而出，平均年增長率達到30%。微機械陀螺是其中的一個重要組成部分。目前，世界各個先進工業國家都十分重視對MMG的研究及開發，投入了大量人力物力，低精度的產品已經問世，正在向高精度發展。

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